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Zum Beispiel für die Linien der K-Schale: 
E= 3/4 * h * R * (Z-l ) Z 
h= Planck’sches Wirkungsquantum 
R= Rydberg-Konstante 
Z= Ordnungszahl 
E= Energie 
Jedes Element emittiert nach diesem Prinzip Fluoreszenz 
strahlung einer bestimmten Energie. Von einem Halbleiter 
detektor wird die Strahlung mehrerer Elemente gleichzeitig 
registriert und als Spektrum dargestellt. 
Für jedes zu messende Element wird mit Hilfe von Multiele 
mentstandards die relative Fluoreszenzintensität bestimmt. 
Mit Hilfe dieser konstanten Eichfaktoren und durch Zusatz 
eines internen Standards erfolgt die quantitative und 
simultane Auswertung von maximal 24 Elementen. Externe, 
matrixabhängige Standards erübrigen sich somit (Prange 
1987 ) . 
4.1.2 Nachweisgrenzen der TRFA und Interferenzen 
Die Empfindlichkeit der TRFA-Messung wird einerseits von 
den apparativen Gegebenheiten (Anregungsröhre, Filter, 
Detektorauflösung), andererseits von der Zusammensetzung 
der Probe und der Qualität des Probenfleckes beeinflußt. 
Bei einem energiedispersiven Spektrum ergeben sich bei 
realen Proben stets Peaküberlagerungen verschiedener 
Elemente, so daß es zu einer gegenseitigen Verschlechte 
rung des Peak/Untergrund-Verhältnisses und damit der Nach 
weisgrenzen kommt. Ein dominierender Peak wird daher die 
Nachweisgrenzen der spektral benachbarten Elemente negativ 
beeinflussen. 
Um eine optimale Auflösung zu erreichen, muß der Streu 
strahlungsanteil (der apparative und der probenbedingte) 
so gering wie möglich gehalten werden. Die Eindringtiefe 
des Röntgenstrahls ist sehr klein (3 nm) . Durch Spiegel 
und Blenden wird erreicht, daß der Einfallswinkel (wenige 
Bogenminuten) unterhalb des Grenzwinkels der Totalrefle 
xion liegt. Damit wird die Streustrahlung durch das 
Silicium des Trägermaterials und durch die Anregungsstrah 
lung auf ein Minimum beschränkt. Ein dünner und gleichmä 
ßiger Probenfleck begünstigt niedrige Nachweisgrenzen des 
gesamten Spektrums, da er relativ wenig Streustrahlung 
erzeugt.