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lichkeiten, wenn die Meßproben in fester Form als dünne, homogene Targets 
vorliegen. 
Somit ist eine Multielementtrennung und Anreicherung, die zu dünnen 
amorphen Filmen führt, für die TRFA ideal. 
4,2.2 Die Röntgenfluoreszenzspektren der TRFA und ihre Auswertung 
Abbildung 10 zeigt ein TRFA- Spektrum am reinen Si0 2 -Glas-Probenträger. 
8000 
7000 -• 
6000 
5000 
Q 
W 
g. 4000 ■ • 
e 
3000 • • 
2000 ■ ■ 
1000 • • 
0 
Compton- 
Ar 
Si 
S 
iJU 
1 
spektraler Untergrund 
Streuung j Mo 
I 
Rayleigh- 
Streuung 
iil 
«■■■Pi 
Energie [keV] 20 
Abbildung 10: Röntgenfluoreszenzspektrum eines reinen Probenträgers bei 
Anregung mit einer Mo-K a -Strahlung 
Die Peaks auf der linken Seite sind Photopeaks und dem Silizium aus dem 
Si0 2 -Glasprobenträger und dem Argon aus der Luft zwischen Proben 
trägeroberfläche und Detektoroberfläche zuzuordnen. 
Der spektrale Untergrund entsteht aufgrund von Bremsstrahlung der 
energiereichen Photoelektronen und unvollständiger Ladungssammlung im 
Detektor. 
Die Peaks ganz rechts sind Streupeaks der anregenden Strahlung.